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微型氣體流量計從選址到調(diào)試的標準化操作指南

更新時間:2025-04-25      瀏覽次數(shù):115
  微型氣體流量計因其體積小、響應快的特點,廣泛應用于醫(yī)療設備、半導體制造及實驗室分析等場景。其安裝需嚴格遵循技術規(guī)范,確保測量精度與設備壽命。以下從安裝準備、管道處理、設備安裝、電氣連接及調(diào)試校驗五大環(huán)節(jié)展開說明。
  一、安裝前準備:環(huán)境與設備雙核查
  1.環(huán)境評估:選擇遠離強電磁干擾(如變頻器、大功率電機)及強振動的區(qū)域,避免傳感器因電磁噪聲或機械振動產(chǎn)生測量漂移。例如,在半導體設備供氣系統(tǒng)中,流量計需與射頻電源保持至少1米間距。
  2.管道清潔:使用壓縮空氣或氮氣對管道進行吹掃,清除焊渣、銹蝕及油污,防止雜質(zhì)堵塞傳感器。推薦采用雙端吹掃法:從上游進氣口通入氣體,在下游排氣口檢測氣體潔凈度,直至無可見顆粒物。
  3.設備檢查:確認微型氣體流量計型號與介質(zhì)特性匹配(如測量氬氣需選擇耐腐蝕涂層傳感器),檢查密封圈完整性,并核對出廠校準證書的有效期。
  二、管道處理:直管段與密封工藝
  1.直管段要求:流量計上游需保證5倍管道直徑(5D)的直管段,下游需3倍(3D)。例如,在φ25mm管道中,上游直管段長度應≥125mm。若空間受限,可通過安裝流量整流器縮短直管段需求。
  2.密封工藝:采用全金屬密封墊片(如316L不銹鋼纏繞墊),避免橡膠墊片受氣體腐蝕脫落。法蘭螺栓緊固需對角分三次擰緊,最終扭矩控制在15~20N·m,防止應力導致傳感器變形。
  三、設備安裝:方向與固定規(guī)范
  1.安裝方向:按流量計標識的箭頭方向安裝,確保氣體流向與傳感器檢測面垂直。例如,在醫(yī)療呼吸機供氣系統(tǒng)中,若反向安裝可能導致渦流干擾,使測量誤差達±5%以上。
  2.固定方式:使用剛性支架固定流量計,避免管道熱脹冷縮導致位移。推薦在流量計上下游各安裝一個彈性伸縮節(jié),吸收管道軸向應力。
  四、電氣連接:信號與電源隔離
  1.信號線敷設:采用雙絞屏蔽電纜(如RVVP 2×0.75mm2),屏蔽層單端接地,接地電阻<4Ω。信號線與電源線間距需>20cm,防止50Hz工頻干擾。
  2.電源配置:若設備支持24VDC供電,需配置線性電源(紋波<50mV),避免開關電源高頻噪聲影響模擬信號輸出。
 

 

  五、調(diào)試校驗:零點校準與實流驗證
  1.零點校準:在管道無氣體流動時,通過菜單進入零點校準模式,待數(shù)值穩(wěn)定后保存參數(shù)。例如,在測量氮氣時,零點漂移應≤±0.5%FS。
  2.實流驗證:使用標準流量發(fā)生器(如活塞式氣體流量標準裝置)進行比對,測量誤差需在±1%FS以內(nèi)。例如,在100sccm量程下,實測值與標準值偏差應≤1sccm。
  通過標準化安裝流程,微型氣體流量計可實現(xiàn)長期穩(wěn)定運行。在半導體刻蝕設備中,某案例通過優(yōu)化直管段長度與屏蔽接地,將氬氣流量測量重復性從±1.5%提升至±0.8%,保障了工藝良率。
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